緊湊型精密平臺數(shù)字基準(zhǔn)水平測量儀
產(chǎn)品名稱: 緊湊型精密平臺數(shù)字基準(zhǔn)水平測量儀
產(chǎn)品型號: DI-100M
產(chǎn)品特點: 緊湊型精密平臺數(shù)字基準(zhǔn)水平測量儀日本 Kod-Level DI-100M 是一款“緊湊型、無耐沖擊性"數(shù)字水平測量儀,專為靜止平臺、實驗室夾具、精密裝配、計量室等無沖擊、無振動、高精度場景設(shè)計。儀器把高精度電解液傳感器 + 溫度補償 + RS-485 數(shù)字輸出集成到手掌大外殼,0.001 mm/m(0.2 arcsec)分辨率,±0.01 mm/m 精度,無機械可動部,長期漂移 < 0.005
緊湊型精密平臺數(shù)字基準(zhǔn)水平測量儀 的詳細(xì)介紹
緊湊型精密平臺數(shù)字基準(zhǔn)水平測量儀
緊湊型精密平臺數(shù)字基準(zhǔn)水平測量儀
日本 Kod-Level DI-100M 是一款“緊湊型、無耐沖擊性"數(shù)字水平測量儀,專為靜止平臺、實驗室夾具、精密裝配、計量室等無沖擊、無振動、高精度場景設(shè)計。儀器把高精度電解液傳感器 + 溫度補償 + RS-485 數(shù)字輸出集成到手掌大外殼,0.001 mm/m(0.2 arcsec)分辨率,±0.01 mm/m 精度,無機械可動部,長期漂移 < 0.005 mm/m/年,是計量院、光刻機平臺、直線導(dǎo)軌、精密平臺的靜態(tài)數(shù)字水平基準(zhǔn)。
? 核心賣點
無沖擊型:無氣泡可動部,電解液式,抗沖擊 0 g(僅限靜態(tài)使用)
超高分辨率:0.001 mm/m(≈ 0.2 arcsec),±0.01 mm/m 精度
超緊湊:80 × 60 × 35 mm / 0.22 kg,磁吸底 + M4 螺孔(可嵌入平臺)
溫度補償:內(nèi)置 PT100,-10 – 50 °C 自動補償,溫漂 < 0.001 mm/m/°C
數(shù)字輸出:RS-485(Modbus RTU)+ 0-5 V 模擬,1 Hz – 10 Hz 可設(shè)
長期穩(wěn)定:年漂移 < 0.005 mm/m,無需年度機械調(diào)零
低功耗:DC 5 V 100 mA(USB 直驅(qū)),連續(xù)運行不發(fā)熱
?? 技術(shù)參數(shù)(DI-100M)
| 項目 | 參數(shù) |
|---|
| 傳感器原理 | 高精度電解液式(無氣泡) |
| 量程 | ±2 mm/m(≈ ±400 arcsec) |
| 分辨率 | 0.001 mm/m(≈ 0.2 arcsec) |
| 精度 | ±0.01 mm/m(20 °C) |
| 溫度系數(shù) | < 0.001 mm/m/°C(自動補償) |
| 長期漂移 | < 0.005 mm/m/年(靜態(tài)) |
| 響應(yīng)時間 | 1 s(數(shù)字)/ 0.1 s(模擬 10 Hz) |
| 輸出接口 | RS-485(Modbus RTU)+ 0-5 V 模擬 |
| 采樣頻率 | 1 – 10 Hz 可設(shè) |
| 供電 | DC 5 V ±5 %,100 mA(USB-A 直插) |
| 工作環(huán)境 | 0 – 50 °C,< 80 % RH(無冷凝) |
| 外殼材質(zhì) | 陽極氧化鋁 + 氟橡膠密封 |
| 尺寸/重量 | 80 × 60 × 35 mm / 0.22 kg |
| 安裝 | 磁吸底(可選)+ M4 × 2 螺孔 |
| 防護 | IP54(無窗口) |
?? 典型應(yīng)用
計量院平臺:直線導(dǎo)軌直線度 0.01 mm/m,逐點掃描
光刻機底座:靜態(tài)調(diào)平 < 0.002 mm/m,長期監(jiān)測
三坐標(biāo)導(dǎo)軌:Y 軸俯仰角實時記錄,溫度補償后修正誤差
精密裝配:顯微鏡底板調(diào)平,0.001 mm/m 分辨率
直線電機平臺:磁隙平行度靜態(tài)調(diào)整,無沖擊環(huán)境