多級羅茨無油反向擴散結(jié)構(gòu)干式真空泵
產(chǎn)品名稱: 多級羅茨無油反向擴散結(jié)構(gòu)干式真空泵
產(chǎn)品型號: TS系列
產(chǎn)品特點: 多級羅茨無油反向擴散結(jié)構(gòu)干式真空泵日本 Unozawa TS 系列是一款“多級羅茨、無油、反向擴散結(jié)構(gòu)"的干式真空泵,主打高耐久性 + 大排氣速度,專為含可凝性蒸氣或粉塵的半導(dǎo)體、光伏、化工等長周期工藝設(shè)計。結(jié)合 2024-2025 版英文樣本,核心信息如下:結(jié)構(gòu)特點多級羅茨轉(zhuǎn)子無接觸、無油,省略同步齒輪,維護周期>20 000 h反向擴散流路:氣體在泵腔內(nèi)折返流動,可凝蒸氣被回流冷氣連續(xù)
多級羅茨無油反向擴散結(jié)構(gòu)干式真空泵 的詳細介紹
多級羅茨無油反向擴散結(jié)構(gòu)干式真空泵
多級羅茨無油反向擴散結(jié)構(gòu)干式真空泵
日本 Unozawa TS 系列是一款“多級羅茨、無油、反向擴散結(jié)構(gòu)"的干式真空泵,主打高耐久性 + 大排氣速度,專為含可凝性蒸氣或粉塵的半導(dǎo)體、光伏、化工等長周期工藝設(shè)計。結(jié)合 2024-2025 版英文樣本,核心信息如下:
結(jié)構(gòu)特點
多級羅茨轉(zhuǎn)子無接觸、無油,省略同步齒輪,維護周期>20 000 h
反向擴散流路:氣體在泵腔內(nèi)折返流動,可凝蒸氣被回流冷氣連續(xù)稀釋,顯著降低凝結(jié)與腐蝕,提高耐化學耐久性
回流冷卻系統(tǒng):每級壓縮后通過水冷夾套冷卻,排氣溫度<115 °C,減少聚合物/藥液熱分解沉積,延長清洗間隔
高排氣速度(50 Hz 數(shù)據(jù))
| 型號 | 抽速 (m3/h) | 極限壓力 (Pa) | 最大反壓 (kPa) | 接口 ||----|-------------|---------------|----------------|------|| TS100 | 96 | 10 | 6 | NW50 || TS220 | 220 | 5 | 8 | VG65 || TS300 | 300 | 3 | 10 | VG65 || TS600 | 600 | 1 | 15 | VG100 |
60 Hz 抽速再提升 10–15 %
無油 & 清潔
節(jié)能 & 噪音
典型應(yīng)用
半導(dǎo)體:CVD、ALD、刻蝕腔真空泵,可長期抽含 SiCl?、NH?、HF 蒸氣而不卡死
光伏:PERC/TopCon 刻蝕、PECVD 工段,抗 SiN 粉塵反擴散
化工 & 制藥:溶劑蒸餾、干燥、結(jié)晶,可冷凝甲苯、DMF 等有機蒸氣并在線回收
選型 & 訂貨
一句話總結(jié):TS 系列 = 無油 + 大抽速 + 反向擴散冷卻,專門對付含粉塵/可凝蒸氣的長周期工藝,半導(dǎo)體、光伏、化工用戶可直接用它當主泵,省去油泵及繁重的換油維護。
日本 Unozawa TS 系列是一款“多級羅茨、無油、反向擴散結(jié)構(gòu)"的干式真空泵,主打高耐久性 + 大排氣速度,專為含可凝性蒸氣或粉塵的半導(dǎo)體、光伏、化工等長周期工藝設(shè)計。結(jié)合 2024-2025 版英文樣本,核心信息如下:
結(jié)構(gòu)特點
高排氣速度(50 Hz 數(shù)據(jù))
| 型號 | 抽速 (m3/h) | 極限壓力 (Pa) | 最大反壓 (kPa) | 接口 ||----|-------------|---------------|----------------|------|| TS100 | 96 | 10 | 6 | NW50 || TS220 | 220 | 5 | 8 | VG65 || TS300 | 300 | 3 | 10 | VG65 || TS600 | 600 | 1 | 15 | VG100 |
無油 & 清潔
泵腔無油,無碳片/無潤滑脂,排氣側(cè)無油霧回流,滿足半導(dǎo)體、面板廠對潔凈真空的要求
可選氮氣吹掃口與排氣消音器,用于粉塵或腐蝕性氣體工藝,減少維護頻率
節(jié)能 & 噪音
典型應(yīng)用
選型 & 訂貨
一句話總結(jié):TS 系列 = 無油 + 大抽速 + 反向擴散冷卻,專門對付含粉塵/可凝蒸氣的長周期工藝,半導(dǎo)體、光伏、化工用戶可直接用它當主泵,省去油泵及繁重的換油維護
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