產(chǎn)品資料
半導體領(lǐng)域在線高精度測量高純制藥液加熱器
產(chǎn)品名稱: 半導體領(lǐng)域在線高精度測量高純制藥液加熱器
產(chǎn)品型號: ECN型
產(chǎn)品特點: 半導體領(lǐng)域在線高精度測量高純制藥液加熱器半導體清洗裝置在線用高純度制藥液加熱器在線 · 高純度 · 制藥液 · 加熱器 · PFA/PTFE流路0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10??Pa · 5-500mL/min · 5年壽命
半導體領(lǐng)域在線高精度測量高純制藥液加熱器 的詳細介紹
半導體領(lǐng)域在線高精度測量高純制藥液加熱器
半導體領(lǐng)域在線高精度測量高純制藥液加熱器
半導體清洗裝置在線用高純度制藥液加熱器
在線 · 高純度 · 制藥液 · 加熱器 · PFA/PTFE流路
0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10??Pa · 5-500mL/min · 5年壽命
一、產(chǎn)品定位
- 半導體清洗裝置在線用：單片清洗、CMP后清洗、藥液預熱
- 高純度制藥液加熱器：HF/H?SO?/NH?OH/有機溶劑，PFA/PTFE全流路
- 在線加熱：5-500mL/min，0-180℃，±0.1K，真空≤1×10??Pa
- ECN型：PFA/PTFE，在線，高純度，5年壽命
二、核心技術(shù)參數(shù)（ECN型）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 流路材質(zhì) | PFA + PTFE（高純度，無顆粒） |
| 溫度范圍 | 0 – 180 ℃（全范圍） |
| 精度 | ±0.1 K（±0.1 K，PID） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 流量范圍 | 5 – 500 mL/min（全范圍） |
| 潔凈等級 | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 真空接口 | NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 壽命 | 5 年（連續(xù)運行） |
三、功能亮點
- PFA/PTFE 高純流路：無顆粒，Class 100，無金屬離子溶出
- 0-180 ℃ 全溫度：PID閉環(huán)，±0.1 K，藥液溫度微變實時捕捉
- ≤1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
- 5-500 mL/min 寬流量：單片清洗 20 mL/min，CMP 400 mL/min，一臺覆蓋
- 1.9 kg 超輕：A5底面積，可手提移動，通風櫥內(nèi)即用
半導體清洗裝置在線用高純度制藥液加熱器
在線 · 高純度 · 制藥液 · 加熱器 · PFA/PTFE流路
0-180℃ · ±0.1K · 真空≤1×10??Pa · 5-500mL/min · 5年壽命
一、產(chǎn)品定位
- 半導體清洗裝置在線用：單片清洗、CMP后清洗、藥液預熱
- 高純度制藥液加熱器：HF/H?SO?/NH?OH/有機溶劑，PFA/PTFE全流路
- 在線加熱：5-500mL/min，0-180℃，±0.1K，真空≤1×10??Pa
- ECN型：PFA/PTFE，在線，高純度，5年壽命
二、核心技術(shù)參數(shù)（ECN型）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 流路材質(zhì) | PFA + PTFE（高純度，無顆粒） |
| 溫度范圍 | 0 – 180 ℃（全范圍） |
| 精度 | ±0.1 K（±0.1 K，PID） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 流量范圍 | 5 – 500 mL/min（全范圍） |
| 潔凈等級 | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 真空接口 | NW16（可轉(zhuǎn) NW25/NW40） |
| 電源 | DC 24 V 2 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 200×150×45 mm，1.9 kg |
| 壽命 | 5 年（連續(xù)運行） |
三、功能亮點
- PFA/PTFE 高純流路：無顆粒，Class 100，無金屬離子溶出
- 0-180 ℃ 全溫度：PID閉環(huán)，±0.1 K，藥液溫度微變實時捕捉
- ≤1×10?? Pa 真空兼容：真空腔直接安裝，無泄漏
- 5-500 mL/min 寬流量：單片清洗 20 mL/min，CMP 400 mL/min，一臺覆蓋
- 1.9 kg 超輕：A5底面積，可手提移動，通風櫥內(nèi)即用
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