產品資料
低濃度臭氧環境測量半導體制造用
產品名稱: 低濃度臭氧環境測量半導體制造用
產品型號: model1200
產品特點: 低濃度臭氧環境測量半導體制造用測量性能測量方法：采用紫外線吸收法，依據朗伯-比爾定律，通過光度吸收原理精確測量臭氧濃度。測量范圍：低濃度測量范圍為0至0.2ppm，中濃度測量范圍為0至0.5ppm。最小指示值：0.0001ppm（0.1ppb），可顯示負值。精度：線性度、再現性和準確性均為±0.5%/滿量程。漂移：零漂移和跨度漂移均為±0.5%/FS/月。設備設計
低濃度臭氧環境測量半導體制造用 的詳細介紹
低濃度臭氧環境測量半導體制造用
低濃度臭氧環境測量半導體制造用
測量性能
- 測量方法：采用紫外線吸收法，依據朗伯-比爾定律，通過光度吸收原理精確測量臭氧濃度。
- 測量范圍：低濃度測量范圍為0至0.2ppm，中濃度測量范圍為0至0.5ppm。
- 最小指示值：0.0001ppm（0.1ppb），可顯示負值。
- 精度：線性度、再現性和準確性均為±0.5%/滿量程。
- 漂移：零漂移和跨度漂移均為±0.5%/FS/月。
設備設計
- 樣品流速：1.5至2升/分鐘。
- 測量周期：12秒（標準）。
- 顯示：濃度顯示為LED大寫字母（紅色），信息顯示為綠色小寫字母，兩行顯示。
- 輸出功能：具備瞬時值0至1V DC的模擬輸出，以及1小時平均值0至1V DC的輸出。同時配備遙測輸出和RS-232C接口。
環境適應性
- 工作溫度：0至45°C。
- 工作濕度：10至80%（無冷凝）。
- 溫度補償功能：內置反應池溫度傳感器。
- 壓力補償功能：反應池內內置壓力傳感器。
物理特性
- 電源：AC100V，50/60Hz，約70VA。
- 外形尺寸：430寬×132高×410深。
- 重量：約10公斤。
適用場景
Model 1200適用于半導體制造等需要精確監測低濃度臭氧的場所。
測量性能
- 測量方法：采用紫外線吸收法，依據朗伯-比爾定律，通過光度吸收原理精確測量臭氧濃度。
- 測量范圍：低濃度測量范圍為0至0.2ppm，中濃度測量范圍為0至0.5ppm。
- 最小指示值：0.0001ppm（0.1ppb），可顯示負值。
- 精度：線性度、再現性和準確性均為±0.5%/滿量程。
- 漂移：零漂移和跨度漂移均為±0.5%/FS/月。
設備設計
- 樣品流速：1.5至2升/分鐘。
- 測量周期：12秒（標準）。
- 顯示：濃度顯示為LED大寫字母（紅色），信息顯示為綠色小寫字母，兩行顯示。
- 輸出功能：具備瞬時值0至1V DC的模擬輸出，以及1小時平均值0至1V DC的輸出。同時配備遙測輸出和RS-232C接口。
環境適應性
- 工作溫度：0至45°C。
- 工作濕度：10至80%（無冷凝）。
- 溫度補償功能：內置反應池溫度傳感器。
- 壓力補償功能：反應池內內置壓力傳感器。
物理特性
- 電源：AC100V，50/60Hz，約70VA。
- 外形尺寸：430寬×132高×410深。
- 重量：約10公斤。
適用場景
Model 1200適用于半導體制造等需要精確監測低濃度臭氧的場所。
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